X線CCDの開発
裏面照射型CCD開発小さい画素のCCD開発空乏層の厚いCCD開発偏光検出性能開発N型CCD開発Pch_2K4KCCD_NeXT2SD-CCD

N型CCD開発

我々のグループは 浜松ホトニクス社 、国立天文台、京都大学と共同で、次世代X線天文衛星搭載に向けてN型CCDの開発を行っている。我々はこれまでP型シリコンウェハから素子を作っていた。P型にするためには、ボロン等イオンを注入する方法が一般的に用いられる。 それに対して、N型ウェハは加速器を用いてシリコンに中性子を打ち込むことで製造されるため、深さ方向に均一に高比抵抗のウェハを製造することができる。そこで、我々は、このN型ウェハを使って、 次世代のCCDを開発している。

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学会発表


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