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N型CCD開発
我々のグループは
浜松ホトニクス社
、国立天文台、京都大学と共同で、次世代X線天文衛星搭載に向けてN型CCDの開発を行っている。我々はこれまでP型シリコンウェハから素子を作っていた。P型にするためには、ボロン等イオンを注入する方法が一般的に用いられる。 それに対して、N型ウェハは加速器を用いてシリコンに中性子を打ち込むことで製造されるため、深さ方向に均一に高比抵抗のウェハを製造することができる。そこで、我々は、このN型ウェハを使って、 次世代のCCDを開発している。
内輪発表
Pch3-4-2 の性能評価
2003/02/20 上山 大介、宮田 恵美
Pch3-4-2 の性能評価
2003/04/17 上山 大介 (浜ホトミーティング)
学会発表
論文
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国立天文台鎌田さんページ
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